ゲッターポンプ(NEGポンプ)

	特性と用途
	ゲッターポンプ(NEGポンプ)は、粒子状の非蒸散ゲッターを高温で焼結して組み立てる真空デバイスであり、真空環境で残留ガスを大量に除去し、高い真空度を得るために適用します。主に超高真空または極限真空を必要とする検査装置または実験装置に使用されます。 活性化されると、エネルギー入力なしで稼働し、振動や磁場に厳しい要件となる場合特に適用しています。 水素などの活性ガスに対して大きな吸引速度を有し、超高真空下では低下しない。
	特徴及び関連データ
	製品タイプ 高さ(mm) 外径(mm) トータル重さ(g) 常温電気抵抗(Ω) NP-172-40-S/I/16 133±20 25±3 140±15 0.28±0.05 NP-172-60-S/I/35 133±20 25/36±3 170±20 0.28±0.05 NP-175-80-S/I/35 133±20 25/36±3 170±20 0.28±0.05 NP-172-120-S/I/35 133±20 25/36±3 170±20 0.28±0.05 NP-172-720-S/I/100 145±20 80/95±3 980±50 2.1±0.15 NP-T-400-C/0/150 58±5 145±15 480±30 /
	製品タイプ 吸気効率(H2) トータル吸気量(H2) 吸気効率(CO) トータル吸気量(CO) L/S Torr·L L/S Torr·L NP-172-40-S/I/16 100 600 50 300 NP-172-60-S/I/35 200 1000 100 500 NP-175-80-S/I/35 200 1000 100 500 NP-172-120-S/I/35 400 2000 210 1000 NP-172-720-S/I/100 2400 12000 1260 6000 NP-T-400-C/0/150 / / / /
	推奨する活性化条件
	このゲッターポンプは、定電流電源を使用して通電加熱活性化することをお勧めします。 推奨活性化条件:通電活性化500℃の場合、45minを維持し、活性化プロセス全体でシステム真空度は0.01Paよりも優れている必要があります。 適切な時間を延長すれば、ゲッターポンプの完全活性化に有益である。 標準活性化温度に達しない場合は、時間を延長して補正する必要があります。 活性化プロセス中、真空チャンバの真空度を満足必要がある、もし真空度が低すぎると、ワイヤを腐食し、材料を汚染し、活性化温度異常など不良が発生する恐れがあります。 ゲッターポンプは活性化中に一定量のガスを放出します、その過程中に真空を確保するために、ゲッターポンプは動的真空下で活性化することをお勧めします。活性化中に1.5Aの電流から所定の電流値に達するまで徐々に上昇し始め、ゲッターポンプの温度の急激な変化による過速な排気、電気パラメータの変化などを避ける必要があります。
	製品タイプ 推奨活性化電流 推奨活性化パーワ Type A W NP-172-40-S/I/16 4 40 NP-172-60-S/I/35 4 35 NP-175-80-S/I/35 5.2 60 NP-172-120-S/I/35 5.2 60 NP-172-720-S/I/100 5 300 NP-T-400-C/0/150 / /
	注意事項：
	●ゲッターポンプのハウジングとフランジは、稼働する時に高い温度を有し、火傷を防ぐために注意を払う。 ●ゲッターポンプが高温の場合、汚染、消耗故障を避けるために真空状態を維持して下さい。 ●電源を接続するときは、電源とフランジ電極がしっかりと接続されていることを確認し、他の部品との絶縁に注意してください。 ●加熱活性化する前に、システムが要件を満たす真空状態にあることを確認してください。 ●特殊なケースでは、ゲッターポンプがC、N、Oなどのガスに対して高い吸気速度を持つように、稼働温度を200℃～250℃の範囲(通電3A)に維持することができ、このとき、ゲッターポンプが達成できる限界真空度が低下します。