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    特征和用途

    本品是组织结构优化的钛或锆合金的薄膜,可在较宽的温度范围内激活。激活后,可在真空环境中吸收除惰性气体之外的氢气、水汽、一氧化碳、二氧化碳等杂质气体,提高和维持器件内部的真空。具有吸气量大、无颗粒、激活温度低等特点。可广泛的应用于非制冷红外传感器、微陀螺仪等各种MEMS器件。针对不同的封装工艺,有不同的吸气合金可供选择。

    基本特征和数据


    ●结构
    产品的典型结构是以厚度50微米的不锈钢为载体,在其表面双面镀膜,膜厚约1.5微米。尺寸形状可以根据用户需要定制。也可以薄膜形式沉积在晶圆表面或各种金属盖板、陶瓷外壳表面。

    ●吸气能力
    产品在小于1E-3Pa的动态高真空中激活后,即可具有吸气能力,冷却到室温后,仍然具有吸附各种活性气体的能力。随着激活温度的升高,吸气能力逐渐加强。产品经最佳激活温度加热30min,冷却后对CO的吸附能力大于0.06Pa·L/cm2。激活温度超过最佳激活温度后,会使冷却后的单次吸气性能衰减。
    产品在低真空中加热激活时,在加热过程中即开始吸收环境中的活性气体。对于不同的气体,其吸收速度和容量都不一样。在某一温度下和总吸收容量范围内,起始的吸收速度较快,然后会越来越慢;当再次提高温度时,会再次提高吸收速度,然后再次衰减。冷却后,产品是否具有残留的吸气能力,取决于其吸收的活性气体种类和吸气量。

    推荐激活条件

    为获得最佳性能,推荐产品在小于1E-3Pa的动态高真空中激活,各膜材的推荐激活条件如下表:

    膜材

    ℃×min

    TP

    450×30

    TZC

    300×30

    TZCF

    400×30

    注意事项

    产品技术规格书中提供的加热电流-激活温度曲线是产品悬挂在真空中测试的,产品焊接在器件内部后,实际的激活电流与温度的关系主要取决于热损耗。由于焊接位置的热传导,焊接部分的温度远低于产品中间部分的温度。

    蜜糖商城官网在激活过程中,会释放出内部固溶的氢气。环境中有水,则水中的氧会被蜜糖商城官网固定,氢则会被转化成氢气释放。在密闭空间中,冷却后,这部分氢气能否完全被蜜糖商城官网吸收取决于激活过程中其吸收的气体种类和数量。

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